1-1-2-11 熱式質量流量計
熱式の流量計は主として気体の質量流量（g／min）を直接測定する流量計である。気体が流れるパイプに一定熱量を供給するヒータを巻いてあり，気体が流れていない時，t1とt2が同じ温度になるように調整する。気体が流れるとこのt1部の温度は，流れる気体に奪われて下がる。逆にt2部は温度が上がる。図1．2．12に測定原理を示す。
このt1，t2の温度差が，流れる気体の質量流量に比例することを利用した流量計である。熱式は主に微小流量計測用として使用されている。用途としては半導体製造工程における各種ガスの計測制御や，サンプリング，混合，希釈などに用いられる。また液体用や防爆用製品もある。
図1.2.12 熱式質量流量計の原理図
