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セミナー関係プログラム

 

テクニカルセミナー

10月6日(水)
会議室名:1008号室(10階) 定員:90名
16:00-16:45 【T-4】
新産業における装置の競争力を上げる
装置エンジニアリングシステムの活用について

株式会社山武

プロセスの進化やコスト要求の厳しい半導体業界では、プロセスの安定化、装置稼働率向上に向けて装置データを活用されている。現在あらゆる新産業(発光体、Li電池産業etc.)の装置に向けてその手法が注目されており、具体例を含めその要素技術を紹介する。

※講演内容、講演者などは都合により予告なく変更する場合があります。予めご了承ください。

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